반도체 시장 공략 나선 캐논, 7년만에 신형 반도체 노광기 출시
글로벌 카메라 기업인 캐논(Canon)이 7년만에 신형 반도체 노광기를 출시한다. 닛케이 신문에 따르면, 캐논이 7년 만에 소형 기판용 반도체 노광기 ‘FPA-3030i5a'를 3월에 출시해 일본 니콘, 네덜란드 ASML 등이 장악한 반도체 노광기 시장을 파고들 것으로 보인다. FPA-3030i5a는 파장이 365nm인 ‘i-Line' 광원을 사용해 2인치~8인치 크기의 소평 기판을 처리할 수 있다. 해상도눈 0.35 마이크로미터(μm)로, 웨이퍼 위치를 측정하는 부품과 소프트웨어를 업그레이드 해 기존 모델보다 효율도 17% 향상시켰다. FPA-3030i5a는 웨이퍼 위치를 측정하는 ‘교정 오실로스코프’의 구성을 조정하고 노광 공정과는 별도로 측정 유닛을 설치했고 가로와 세로 두 방향의 측정을 동시에 진행해 측정 시간을 단축해 측정 광원의 파장 범위를 확대해 마크 식별이 어려운 다중 기판과 투명 기판을 지원하고 웨이퍼 뒷면의 마크를 식별 가능하다. FPA-3030i5a는 또 실리콘 웨이퍼뿐만 아니라 차세대 반도체 소재로 꼽히는 실리콘 카바이드(SiC), 5G 관련 반도체 소재로 주목받는 갈륨 나이트 라이드(GaN) 등 소형 웨이퍼가 많은 화합물 반도체의 생산
